Alcatel Adixen AD100K Hochvakuum

Alcatel Adixen AD100K AD30K 600-4500 m3/h.

Adixen AD30K Trockenpumpe, Hochvakuum
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Die neuen leistungsstarken trockenlaufenden Pumpen:
Die ADH-Serie ist speziell für Solar ausgelegt
entwickelt für die anspruchsvollen Prozesse der Halbleiter- und LED-Märkte,
Mit einem Saugvermögen von 600-4500 m3/h.

Halbleiter: Hohe H2-Pumprate
Die Leistung der ADH-Serie bringt folgende Vorteile für den Prozess:
-ADL-Prozessleistung: hohe Pumpeffizienz von leichten Gasen
ermöglicht eine schnellere Kammerentleerung zwischen Prozessschritten
- Epitaxie und EUV: hohes Saugvermögen und hohe Durchflussrate
Toleranz erfüllt die anspruchsvollsten Prozessspezifikationen


Adixen AD30K Trockenpumpe, Hochvakuum, AD 30 KL
Hersteller: Alcatel Adixen
Typ: AD30K.H
Baujahr: 2008

Adixen AD100K.H
Hersteller: Alcatel Adixen
Typ: AD100K.H
Baujahr: 2008

Vakuumpumpe:
Hersteller: AERZEN
Typ: GM 2000 CM-C
Drehzahl: 6000 U/min
Spannung: 200-460 V
Frequenz (Mineralöl/PFPE-Öl): 100 c/s
Saugleistung max.: 4035 m3/h
Drehzahl max.: 5920 U/min
Motorleistung S 1 / S 6: 9/5,6 kW
Baujahr: 2008
Gewicht: 345 kg

Trockene Pumpe:
Hersteller: Adixen
Typ: BF ADP122
Baujahr: 2008
Leistung 1,5 kW
Maximale Saugleistung: 95 m3/h
Maximaler Dauereingangsdruck: 50 mbar
Maximaler Abgasüberdruck: 1200 mbar
Kühlwasser: 60 l/h
Drehzahl (Pumpe): 3000-3600 U/min
Betriebstemperatur der Pumpe: von 5 °C bis 40 °C
Eingangsflansch: DN 50 ISO-KF
Abgasflansch: DN 40